在入口真空度要求为20~1X10-3Torr的范围内，相对于小容量的干式螺杆真空泵，采用大容量罗茨增压泵+小容量干式螺杆真空泵串联的形式，比单台大容量干式螺杆真空泵运行产生的费用更少，同时更能保证真空系统的稳定。干式罗茨螺杆真空机组在抽气速率600~9000m3/Hr的范围内，均能保证有效的工作真空度。另外，由于真空系统为无水无油系统，所以完全没有废油和废水产生，更加节能环保。由于前级干式螺杆真空泵的抽气速率（2~13m3/min）的限定，所以如果抽气速率大或者要求高真空的情况下，推荐选用干式罗茨螺杆真空机组。

       下图为某项目P&ID系统图示例：